
更新時(shí)間:2025-12-11
瀏覽次數(shù):45SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空計(jì)是一款具備高精度、寬測(cè)量范圍及多功能擴(kuò)展性的進(jìn)口真空測(cè)量設(shè)備,適用于半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)、工業(yè)生產(chǎn)等對(duì)真空度要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景。以下是對(duì)該產(chǎn)品的詳細(xì)介紹:
一、產(chǎn)品概述
SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空計(jì)是一款數(shù)字型真空測(cè)量?jī)x器,采用熱傳導(dǎo)原理進(jìn)行真空壓力測(cè)量。其核心部件包括金屬圓筒內(nèi)部的白金細(xì)線,通過(guò)測(cè)量氣體分子碰撞白金細(xì)線導(dǎo)致的熱量變化,實(shí)現(xiàn)真空壓力的精確測(cè)
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、寬測(cè)量范圍:PG-D5A型號(hào)具備6個(gè)量程自動(dòng)切換功能,測(cè)量范圍從1×10?Pa(接近大氣壓)至1.3×10?1Pa,覆蓋了從大氣壓到高真空的廣泛測(cè)量需求。
2、高精度測(cè)量:采用熱傳導(dǎo)原理和溫度補(bǔ)償技術(shù),有效減少了環(huán)境溫度變化對(duì)測(cè)量精度的影響,確保讀數(shù)的準(zhǔn)確性。
3、數(shù)字與條形圖雙重顯示:數(shù)字顯示精確數(shù)值,條形圖直觀展示壓力趨勢(shì),便于用戶快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)。
4、多功能擴(kuò)展性:配備通信功能和BNC輸出等擴(kuò)展功能,可用于各種控制、FA系統(tǒng)等多種用途。同時(shí)支持6點(diǎn)繼電器接點(diǎn)輸出,用戶可自由分配設(shè)定點(diǎn),滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。
5、易于安裝與集成:采用標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)頭設(shè)計(jì),安裝φ15mm測(cè)頭口,便于集成到各種真空系統(tǒng)中。緊湊的尺寸設(shè)計(jì)(144×220×96mm)和輕量化(1.8kg)便于安裝和搬運(yùn)。
三、多元化應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體制造:在濺射、CVD、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)中,精確的真空控制是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。PG-D5A皮拉尼真空計(jì)用于監(jiān)控這些工藝過(guò)程中的真空度,確保工藝條件穩(wěn)定可靠。
2、科研實(shí)驗(yàn):在表面物理、核能、航天等研究領(lǐng)域,皮拉尼真空計(jì)提供精確的真空測(cè)量,為科學(xué)研究提供可靠數(shù)據(jù)支持。
3、工業(yè)生產(chǎn):在真空冶金、機(jī)械工業(yè)等領(lǐng)域,PG-D5A適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測(cè)量,提供快速、可靠的真空度監(jiān)測(cè)。
4、其他領(lǐng)域:在醫(yī)療衛(wèi)生、化工領(lǐng)域,特別是冷凍干燥、滅菌工藝中,PG-D5A用于監(jiān)控工藝過(guò)程中的真空度,確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝重現(xiàn)性。與此同時(shí)在能源領(lǐng)域和航空航天行業(yè)中,真空技術(shù)對(duì)產(chǎn)品性能和可靠性至關(guān)重要,PG-D5A皮拉尼真空計(jì)在這些領(lǐng)域提供必要的測(cè)量保障。
四、技術(shù)規(guī)格
1. 測(cè)量范圍:1×10?~1.3×10?1Pa(6個(gè)量程自動(dòng)切換)
2. 壓力單位:Pa
3. 控制輸出:6點(diǎn)繼電器接點(diǎn)輸出(AC110V,0.5A,阻性負(fù)載)
4. 記錄儀輸出:全量程DC5V/10V切換
5. 電源電壓:AC100V~240V±10%,50Hz/60Hz,30VA
6. 尺寸:144×220×96mm
7. 質(zhì)量:1.8kg

產(chǎn)品分類
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