RIX晶圓加壓用旋轉接頭 半導體行業(yè)用 MF系列

RIX晶圓加壓用旋轉接頭 半導體行業(yè)用 MF系列

規(guī)格：

適用流體：純水、藥液、 空氣、真空等
最大壓力 ：-0.095～0.6MPa
最大通路：8
最大轉速：250min-1

主要途徑與其特點：

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復數(shù)流體同時流動。
通常應用于CMP設備

我司主打品牌明細表：

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