FUJI富士工業  CMP化學產品用多組分濃度計 FUD-1 Model-53

FUJI富士工業  CMP化學產品用多組分濃度計 FUD-1 Model-53

多組分濃度計特點
可以實時測量三種成分中兩種的濃度模擬DC4-20mA（2線）和數字RS232C是標準設備。
標準配備測量誤差輸出和報警輸出
標準配備自診斷功能和錯誤信息顯示
小型、輕量的單元型發射器可以直接安裝在生產線上。

優點
可實現高精度連續測量
免維護，無需定期調整或校準
安裝方便，安裝過程中無需進行各種調整
通過實時輸出輕松反饋流程

目的
CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度管理等。
清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）
蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等）

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化學品：SHINETSU 信越化學、THREEBOND 三鍵、TOAGOSEI 東亞合成、三井化學MITSUI、KONISHI小西、

設備類產品: 、 ONIKAZE 赤松、 SHOWADENKI 昭和電機、、 OSAWA大澤、TROAY東麗 、EOLUS真空企業株式會社、KOTOHIRA琴平工業、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、TOPCON拓普康、CCS光源、MASDAC 隧道式烘烤爐、鈴與工業株式會社 納豆生產設備、IKURATOOLS育良精機、 ANLET安耐特、ARIMITSU有光工業、Kitagawa北川、

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新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機